无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘车间厂房位置选择应符合下列规定，并经技术经济方案比较后确定：1、应在大气含尘和有害气体浓度较低、自然环境较好的区域2、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、仓储、堆场等有严重空气污染，振动或噪声干扰的区域，当不能远离严重空气污染源时，应位于1大频率风向上风侧，或全年小频率风向下风侧3、应布置在厂区内环境清洁，人1流、物流不穿越或少穿越的地段4、对于兼有微振控制要求的无尘车间厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备，精密仪器仪表容许振动值分析比较后确定5、无尘车间厂房新风口与交通干道边沿的近距离宜大于50M6、无尘车间厂房周围宜设置环形消防车道，也可沿厂房的两个长边设置消防车道7、无尘车间厂房周围的道路面层应选用整体性能好，发尘少的材料8、无尘车间厂房应进行绿化，可铺植草坪，不应种植对生产有害的植物。
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检测无尘车间是不是及格呢？ 1、检测厂内无尘车间工程项目排风量与风量假如是流场车间，那麼还要杭州厂房装修要检测其排风量与风量。若此单边流车间，则要检测其风力。 2、 无尘车间工程项目区县中间的气流操纵为确保区县中间的气流健身运动方位精1确，即从清洁区向洁净度等级差的区角游戏，杭州厂房装修必须查询：各区段的压力差精1确；无尘车间大门口处或墙、木地板等处的接口处气流健身运动方位精1确，即从清洁区向清洁水平差的区角游戏。3、 对无尘车间工程项目过滤装置测漏提议查验送风口以及边框，以保证飘浮空气污染物不容易穿过；查询是否存有毁坏了的过滤装置；检查过滤器设备的其他位置而避免空气污染物入1侵车间内。 4、 无尘车间工程项目隔绝测漏是以便测试飘浮空气污染物不穿过建筑装饰材料入1侵无尘车间。 5、测试无尘车间工程项目内气流操纵气流操纵测试依气流方式--是流场還是单边流而定。若车间气流为流场，则必须验证房间内沒有气流运作不够的地区。假如单边流，则杭州厂房装修必须检查全部无尘车间内的风力和风频是不是合乎设计方案规定。
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