无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘车间的温湿度操纵由其生产工艺流程决策，但其精度另外也需看其屋子的尺寸比如计量检定室、光纤传感器刻线室、仪器仪表生产制造和装配线车间等。前两者都为小屋子，中央空调精度(这儿关键指温湿度)规定高；后二者为很大的生产制造车间，温湿度精度规定较低。因此其屋子尺寸也会决策恒温恒湿设备车间的精度。无尘车间对温湿度的操纵决取于其生产工艺流程。在考虑制作工艺的标准下，还应当充分考虑人的舒适度。由于流汗之后，对商品将有环境污染，非常是怕钠的半导体材料车间，这类车间不适合超出25度。环境湿度过高造成的难题大量。相对湿度超出55%时，冷却循环水壁厚上面冷凝水，假如产生在高精密设备或电源电路中，就会造成各种各样安全事故。相对湿度在50%易锈蚀。
无尘车间能够分成下列好多个级別：1级、百级、千级、万级、十万级、三十万级、百1万级。 每立方将低于0.5微米粒度的微尘总数操纵在3500个下列，就做到了国际性无尘规范的A1级。现阶段运用在射频收发器生产制造的无尘规范针对尘土的规定高过A1级，那样的高标准关键被运用在一些级别较高芯片生产上。微尘总数被严控在每立方1000个之内，这也就是业界别名级別中的万级。 无尘车间详细地址的挑选应合乎有益生产制造、便捷生活、节约项目投资和经营费用的标准。无尘车间与交通出行主干路间隔宜50米之上。
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