十万级无尘车间的监测
1、无尘车间系统的监测主要是过滤器的更换周期，还有无尘车间对环境的湿度、温度、新鲜空气量、状态、照度等都有严格的规定，保证了产品的生产质量和人员工作环境的舒适。
2、整个无尘车间系统配有一套采用初效、中效、过滤器的三级空气净化系统，控制洁净区内尘粒数等。作为末端过滤装置过滤器决定着整个净化系统的运行效果，无尘车间装修因此对于过滤器的更换时间是非常重要的。
3、在无尘车间的装修里，无论是安装在净化空调机组末端的大风量空气过滤器还是安装在送风口的空气过滤器，这些必需要有准确性的运行时间记录和洁净度及风量作为更换依据，如在常态的使用情况下，过滤器的使用寿命可以长达一年以上。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
千级无尘车间代表什么意思? 每立方将低于0.5μm粒度的微尘总数操纵在3500个下列，就做到了国际性洁净标准的A1级。现阶段运用在芯片级生产制造的洁净标准针对尘土的规定高过A1级，那样的高标准关键被运用在一些级别较高芯片生产上。微尘总数被严格控制在每立方1000个之内，这也就是说业界别名级別中的千级。 千级无尘车间的标准，微尘总数被严格控制在每立方1000个之内，这也就是说业界千级无尘车间的含意。（1000级的定义是：每立方英寸内,大于0.5的尘土颗粒物不可以超出1000颗）。 无尘车间级别标准划分 洁净室等级标准ISO14644依据飘浮粒子浓度值这唯1指标值来划分净化室(区)及有关控制计划自然环境中气体洁净度等级的级别，而且仅考虑到粒度限制值(下限)0.1um～0.5um范围之内总计遍布的粒子群。
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